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　　體積流量：也叫工況流量，即單位時間內實時溫度和壓力下流體流過管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為：ml/min和L/min。

 

　　標況流量：通過溫度、壓力補償后得到的體積流量。標況一般定義（1）壓力：1個大氣壓（101.325KPa）（2）溫度：0℃/15℃/20℃/25℃，具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(25℃,101.325KPa)，單位一般為：SCCM和SLPM。

 

　　質量流量：單位時間內流體流過管道橫截面的質量。易度質量流量控制器測量出的是標況流量，需要計算氣體實際質量時，可用密度乘以標況流量即可得出。

 

　　瞬時流量：當時間很短時，流體流過一定截面的量稱為瞬時流量。

 

　　累計流量：氣體通過某一截面的瞬時流量在一定時間內的累積值。

 

　　設定流量：質量流量控制器專用術語，MFC通過控制比例調節(jié)閥的開度使得流體流量穩(wěn)定在某一固定流量值，設定流量一般為標況流量。